潔淨無塵室之定義

　　(一)潔淨室之定義 (供大家參考)潔淨室(HEPAClean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫無塵室設備工程度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔淨室最主要之作用在於控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能化學濾網在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「潔淨室」。

　　(二)潔淨室之等級世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標准209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標准作介紹與相互比較。 209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公制單位，潔淨室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1。5、M2。5、M3…。。依此行推，配合國際公制單位之標准化，M字母後之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0。5(m之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間，則以1。5、2。5、3。5除味濾網…。表示。美國聯邦標准FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0。1(m微粒子為計數標准。日本標准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

　　(三)潔淨室控管之項目

　　1。 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2。 能防止微塵粒子之產生。

　　3。 溫度和濕度之控制。

　　4。 壓力之調節。

　　5。 活性碳濾網有害氣體之排除。

　　6。 結構物與隔間之氣密性。

　　7。 靜電之防制。

　　8。 電磁干擾預防。

　　9。 安全因素之考慮。

　　10。 節能之考量。